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亦即，步进电机的驱动脉冲波连续自动扫频，每次记录频率分析的结果用三维表示。Y(倾斜）轴表示步进电机脉冲频率，X(横）轴表示振动频率，Z(纵）轴表示振动加速度。由此可以看出，何处的驱动脉冲，频率多少时，会产生的振动大小，一目了然，易于分析振动结果。根上振动分析图，从振动大的地方看到，驱动脉冲的基波频率造成振动成分，且出现的振动点为其偶次谐波，180pps附近的振动为振动加速度与转子及其负载系统的自然频率的共振。


用正值与负值范围表的误差，称为位置误差（position），用基本步距角的百分率（％）来表示。下表表示静止角度误差：下图表示误差与位置精度：上图中，若正的误差为Δθ1，负的误差为Δθ4，则位置精度PA由下式表示：步距角精度：转子从任意一点出发，连续运行时，求出各步进角度的实测角度与理论上的步进角度之差，用理论步距角的百分率（％）表示，称为步距角精度，以1圈中的（+）侧与侧的值表示。

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