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湿电子化学品是电子行业湿法制程的关键材料。湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支,是微电子、光电子湿法工艺制程(主要包括湿法蚀刻、清洗、显影、互联等)中使用的各种液体化工材料。超净高纯试剂是在通用试剂基础上发展起来的纯度 的试剂,其杂质含量较优级试剂低几个数量级。湿电子化学品是对“电子级试剂”、“超净高纯化学试剂”更为合理准确的表达。国内的超净高纯试剂, 在国际上通称为工艺化学品(Process Chemicals), 在美国、欧洲和我国 地区称 为湿化学品(Wet Chemicals),是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数 符合严格要求的化学试剂,其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠 性有十分重要的影响。

按照组成成分和应用工艺不同,湿电子化学品可分为通用性和功能性湿电子化学品。通用湿电子化学品以超净高纯试剂为主,一般为单组份、单功能、被大量使用的液体化学品,按照性质划分可分为:酸类、碱类、 类和其他类。酸类包括 、 、 、硫酸、

等;其他类包括 等。功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,即在单一的超净高纯试剂(或多种超净高纯试剂的配合)基础上,加入水、 、螯合剂、表面活性剂混合而成的化学品。例如剥离液、显影液、蚀刻液、清洗液等。由于多数功能湿电子化学品是复配的化学品,是混合物,它的理化指标很难通过普通仪器定量检测,只能通过应用手段来评价其有效性。


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