PFA吸收瓶串联洗气瓶耐酸碱低本底

半导体特气应用于晶圆制造的各个环节；

狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体，主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节；

电子特种气体的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的 性和准确性，对于半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义。

由于半导体集成电路芯片更高性能、更高集成度发展，科技对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的净化愈加关键和重要。

电子气体品种多，纯化方法一般多采用吸附(常温、低温)、精馏(古间歇精馏)、催化等方法。

现已有分析法：吸收法（鼓泡法）

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