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单晶炉，全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅炉型号有两种命名方式，一种为 是由投料量决定，85炉则是指主炉筒的直径大小。单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。单晶硅片工艺流程硅，Si，地球上含硅的东西很多，好像90%以上都是晶硅的，也是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上可以了。始是石头，（石头都含硅），把石头加热，变成液态，再加热变成气态，把气体通过一个密封的大箱子，箱子里有N多的子晶加热，两头用石墨夹住，气体通过这个箱子，子晶会把气体中的一种吸符到子晶上，子晶慢慢变粗了，因为是气体变固体，所以很慢，一个月左右，箱子里有了很多长长的原生多晶硅。
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2，根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口(13)之间的气流导向装置(20)。与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)。权利要求1其特征在于经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa该气流导向装置(20)为碗形。一种直拉式单晶生长炉，包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)其包括设于气流导向装置(20)底部的中轴孔(2-1)该炉的石墨中轴(21)穿过所疼气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)气流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16)之间。3其特征在于所述气流导向装置(20)的电极孔(2-2)分别与该炉的电极柱(15)密封连接。本系统还配置有工作站系统，用一台PC机可同时8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。(4) 电气硬件设置，本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理，各个模块间连接简单，单个模块可以带电维修，电机保护采用空气关和丝结合的方法便于作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理，简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。
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